武漢大學(xué)科研公共服務(wù)條件平臺(tái)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡已經(jīng)安裝調(diào)試完畢，即日起對(duì)校內(nèi)開(kāi)放試運(yùn)行，歡迎校內(nèi)師生預(yù)約測(cè)試！

儀器簡(jiǎn)介

SEM廠(chǎng)商：國(guó)儀量子（中國(guó)）

型號(hào)：SEM4000

能譜儀廠(chǎng)商：Oxford

型號(hào)：斜插式能譜儀（ULTIM MAX 100）；平插式能譜（UNITY）

系統(tǒng)簡(jiǎn)介：本儀器是一款場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，電子光學(xué)鏡筒設(shè)計(jì)優(yōu)化，綜合像差降低了30%，從而達(dá)到了0.5 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。系統(tǒng)配備斜插式和平插式兩種能譜儀可實(shí)現(xiàn)快速元素分析?？稍谙冗M(jìn)納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、高端芯片半導(dǎo)體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢(shì)。

儀器配置及主要參數(shù)：

1）電子槍?zhuān)盒ぬ鼗鶊?chǎng)發(fā)射電子槍

2）分辨率：≤0.6 nm@15 kV, SE； ≤1.0 nm@ 1 kV, SE；

3）加速電壓范圍：20V~30kV :

4）放大倍數(shù)范圍：1x~2,500,000x (1 ~ 16x為光學(xué)放大）；

5） 樣品臺(tái)類(lèi)型：五軸機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái)；行程：X≥110 mm, Y≥110 mm, Z≥65 mm, T: -10° ~ +70° , R: 360° 連續(xù)可調(diào)；

6） 配備旁側(cè)二次電子探測(cè)器（支持SE和BSE兩種成像模式）和鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器；

7）集成式背散射電子和X射線(xiàn)傳感成像探測(cè)器。

送樣須知

試運(yùn)行期間開(kāi)放校內(nèi)預(yù)約，每人每天限制預(yù)約時(shí)長(zhǎng)2小時(shí)，預(yù)約時(shí)請(qǐng)注明測(cè)試內(nèi)容（形貌/元素分析）。

預(yù)約請(qǐng)登錄：http：//facility.whu.edu.cn

預(yù)約系統(tǒng)中搜索：090 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

實(shí)驗(yàn)室地點(diǎn)：武漢大學(xué)工學(xué)部尖端科技樓101F

聯(lián)系人：張老師 17843083630

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